日本芝浦機電shibaura油擴散真空泵ESV系列
該系列使用內部加熱型護套加熱器，以從超高真空區域到高，中和真空區域獲得穩定的壓力，并防止由于油在超高真空下突然沸騰而引起的壓力波動。
ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運行時間短，排氣量大和臨界背壓高的特點。另外，可以減少液壓油的量。
| 模型 | 單位單位 | ESV-161 | ESV-221S | ESV-241 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 大排氣速度 | 升/秒 | 7,500 | 13,500 | 20,000 | |
| 達到壓力 | 帕 | 10 -5 | 10 -5 | 10 -5 | |
| 工作壓力范圍 | 帕 | 10 -5至0.4 | 10 -5至0.4 | 10 -5至0.4 | |
| 臨界背壓 | 帕 | 33 | 35 | 33 | |
| 大排氣量 | 帕升/秒 | 1,130 | 1,680 | 1,460 | |
| 用油 | 獅子A | 獅子A | 獅子A | ||
| 油量 | 大號 | 2 | 3 | 五 | |
| 墊片 | 氯丁橡膠 | 氯丁橡膠 | 氯丁橡膠 | ||
| 加熱器 | 格式 | 種子 | 種子 | 種子 | |
| 電壓，相 | ACV，相 | 200、3 | 200、3 | 200、3 | |
| 格式 | 千瓦 | 5.5 5.5 | 7.5 7.5 | 9.0 | |
| 進氣口 | VG400 | VG550 | VG600 | ||
| 輔助端口 | VG100 | VG150 | VG150 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷卻水量 | L / min，在25℃時 | 11 | 15 | 15 | |
| 輔助泵 | KP-4500BG | KP-7500BG | KP-7500BG | ||
| 擋板格式 | 16C（雪佛龍） | 22L（百葉窗） | 24L（百葉窗） | ||
| 帶擋板的排氣速度 | 升/秒 | 3,000 | 6,500 | 8,000 | |
| 擋板冷卻水量 | L / min，在25℃時 | 11 | 3 | 3 | |
| 機油倒流 | cm 3 / cm 2分鐘 | 10 -7 | 10 -7 | 10 -7 | |
| 材料 | 圓筒 | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | |
| 噴射 | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | ||
| 大眾 | 公斤 | 160 | 250 | 350 | |
| 模型 | 單位單位 | ESV-24S | ESV-281S | ESV-361S | |
| 大排氣速度 | 升/秒 | 19,000 | 23,000 | 39,000 | |
| 達到壓力 | 帕 | 10 -5 | 10 -5 | 10 -5 | |
| 工作壓力范圍 | 帕 | 10 -5至0.4 | 10 -5至0.4 | 10 -5至0.4 | |
| 臨界背壓 | 帕 | 30 | 30 | 40 | |
| 大排氣量 | 帕升/秒 | 1,300 | 2,500 | 2,800 | |
| 用油 | 獅子A | 獅子A | 獅子A | ||
| 油量 | 大號 | 五 | 五 | 9 | |
| 墊片 | 氯丁橡膠 | 氯丁橡膠 | 氯丁橡膠 | ||
| 加熱器 | 格式 | 種子 | 種子 | 種子 | |
| 電壓，相 | ACV，相 | 200、3 | 200、3 | 200、3 | |
| 格式 | 千瓦 | 9.0 | 12 | 15.6 | |
| 進氣口 | VG600 | VG700 | VG900 | ||
| 輔助端口 | VG150 | VG200 | VG200 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷卻水量 | L / min，在25℃時 | 15 | 15 | 15 | |
| 輔助泵 | KP-7500BG | TMB-1500 + KP-4500BG | TMB-2500 + KP-7500BG | ||
| 擋板格式 | 24L（百葉窗） | 28L（百葉窗） | 28L（百葉窗） | ||
| 帶擋板的排氣速度 | 升/秒 | 10,500 | 120,000 | 22,000 | |
| 擋板冷卻水量 | L / min，在25℃時 | 3 | 3 | 3 | |
| 機油倒流 | cm 3 / cm 2分鐘 | 10 -8 | 10 -7 | 10 -7 | |
| 材料 | 圓筒 | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | |
| 噴射 | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | ||
| 大眾 | 公斤 | 200 | 400 | 830 | |
